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纳米压印装置

 

纳米压印装置

 

UV式/热硬化式是对应300mm Wafer的装置。

模具的平行度调整、加压、照射、脱模、定准高精度位置,在精度上实现step&repeat 、替代光刻的图案形成。

最适用于terabit碟、LED、微距镜头、扩散Film、高密度封装等。

对应研究开发用、量产用。 

 

超高精度 反复精度=20nm

<构成>

1. X,Y軸空气幻灯

2.线性马达

3. 线性千分尺

4.Z轴air slider

5. 调平行度装置

6. 微型dispenser

7. 自动对焦端子

8. 基板holder

9. 模具holder

10. UV照射unit

11.空调系统

 

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